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      第三方檢測服務
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      國內領先的晶圓表面金屬污染第三方檢測平臺,服務于半導體領域,擁有無錫華虹、上海集成電路研發中心、華潤上華、北方華創、華海清科等芯片制造及設備和材料等近30家國內頭部客戶。年測試服務營收超500萬。

       

      超凈實驗室

      ?800平方米超凈室:百級、千級

      ?具有超純水、超純化學試劑制備能力

      檢測設備

      ?2臺電感耦合等離子質譜儀:提供ppt級金屬污染檢測

      ?2臺離子色譜儀:提供ppb級陰陽離子污染檢測

      檢測能力

      ?晶圓表面化學成分及微量污染分析,檢出限:<1E8原子/平方厘米

      ?化學處理液、超純水中微量污染分析,檢出限:10ppt-50ppt

      ?超凈室空氣中超微量離子污染分析,檢出限:10-100ug/平方米


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