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      金屬污染檢測設備
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      金屬污染提取檢測設備

      1.1 設備用途

      本設備主要用于晶圓表面金屬沾污的提取檢測,采用按一定配比化學液與晶圓表面物質發生化學反應,把其表面上的污染物溶解并提取到化學液中來,并自動進入ICP-MS進行金屬元素定性定量檢測。

      1.2 工作原理

      基于創新的動態薄層晶圓表面化學處理技術,其工作方式是把半導體晶圓放置在一個封閉的超微型化學反應腔室內,通過對腔室特殊結構的設計,使進入腔室內的化學氣體和液體在晶圓表面形成一層化學流體薄層,與晶圓表面發生化學和物理反應,達到對晶圓表面污染提取的效果。

      1.3 設備特點

      ①疏水表面與親水表面均可提取

      ②能提取金屬、化學殘留、有機污染

      ③表面金屬、體金屬均可提取

      ④提取速度快

      ⑤可在線聯機ICP-MS,實現在線檢測

      ⑥可采用多次提取與分步提取技術,快速找到污染源


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