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      尾氣處理設備
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      尾氣處理(Scrubber)設備

      1.1 設備用途

      用于半導體廠離子注入機含砷廢氣排放前處理。

      1.2 工作原理

      空氣中砷及其化合物(除砷化氫外)用浸漬微孔濾膜采集,消解后,碑被硼氫化鈉還原成砷化氫,在原子化器中,生成的砷基態原子吸收193.7m波長,發射出原子熒光,測定原子熒光強度,進行定量。

      1.3 設備特點

      ①沒有明火、無塵室內不產生火源

      ②節省能源、沒有高耗能的需求

      ③不需要耗用水資源,沒有廢水處理問題

      ④無害排放,妥善處理廢料,不影響地球環境


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